सेमीकंडक्टर क्षेत्रात ऑप्टिकल डिझाइनचे विस्तृत अनुप्रयोग आहेत. फोटोलिथोग्राफी मशीनमध्ये, ऑप्टिकल सिस्टम प्रकाश स्रोताद्वारे उत्सर्जित होणाऱ्या प्रकाश किरणावर लक्ष केंद्रित करण्यासाठी आणि सर्किट पॅटर्न उघड करण्यासाठी सिलिकॉन वेफरवर प्रक्षेपित करण्यासाठी जबाबदार असते. म्हणूनच, फोटोलिथोग्राफी सिस्टममधील ऑप्टिकल घटकांची रचना आणि ऑप्टिमायझेशन हा फोटोलिथोग्राफी मशीनची कार्यक्षमता सुधारण्याचा एक महत्त्वाचा मार्ग आहे. फोटोलिथोग्राफी मशीनमध्ये वापरले जाणारे काही ऑप्टिकल घटक खालीलप्रमाणे आहेत:
प्रक्षेपण उद्दिष्ट
०१ लिथोग्राफी मशीनमध्ये प्रोजेक्शन ऑब्जेक्टिव्ह हा एक प्रमुख ऑप्टिकल घटक असतो, ज्यामध्ये सामान्यतः बहिर्वक्र लेन्स, अवतल लेन्स आणि प्रिझमसह लेन्सची मालिका असते.
०२ त्याचे कार्य मास्कवरील सर्किट पॅटर्न आकुंचनित करणे आणि फोटोरेझिस्टने लेपित वेफरवर केंद्रित करणे आहे.
०३ प्रक्षेपण उद्दिष्टाची अचूकता आणि कामगिरी लिथोग्राफी मशीनच्या रिझोल्यूशन आणि इमेजिंग गुणवत्तेवर निर्णायक प्रभाव पाडते.
आरसा
01 आरसेप्रकाशाची दिशा बदलण्यासाठी आणि योग्य ठिकाणी निर्देशित करण्यासाठी वापरले जातात.
०२ EUV लिथोग्राफी मशीनमध्ये, आरसे विशेषतः महत्वाचे आहेत कारण EUV प्रकाश पदार्थांद्वारे सहजपणे शोषला जातो, म्हणून उच्च परावर्तकता असलेले आरसे वापरणे आवश्यक आहे.
०३ रिफ्लेक्टरची पृष्ठभागाची अचूकता आणि स्थिरता यांचा लिथोग्राफी मशीनच्या कामगिरीवरही मोठा परिणाम होतो.
फिल्टर्स
०१ फिल्टरचा वापर प्रकाशाच्या अवांछित तरंगलांबी काढून टाकण्यासाठी केला जातो, ज्यामुळे फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियेची अचूकता आणि गुणवत्ता सुधारते.
०२ योग्य फिल्टर निवडून, हे सुनिश्चित केले जाऊ शकते की केवळ विशिष्ट तरंगलांबी असलेला प्रकाश लिथोग्राफी मशीनमध्ये प्रवेश करतो, ज्यामुळे लिथोग्राफी प्रक्रियेची अचूकता आणि स्थिरता सुधारते.
प्रिझम आणि इतर घटक
याव्यतिरिक्त, लिथोग्राफी मशीन विशिष्ट लिथोग्राफी आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी प्रिझम, पोलरायझर इत्यादी इतर सहाय्यक ऑप्टिकल घटकांचा देखील वापर करू शकते. लिथोग्राफी मशीनची उच्च अचूकता आणि कार्यक्षमता सुनिश्चित करण्यासाठी या ऑप्टिकल घटकांची निवड, डिझाइन आणि उत्पादन संबंधित तांत्रिक मानके आणि आवश्यकतांचे काटेकोरपणे पालन करणे आवश्यक आहे.
थोडक्यात, लिथोग्राफी मशीन्सच्या क्षेत्रात ऑप्टिकल घटकांचा वापर लिथोग्राफी मशीन्सची कार्यक्षमता आणि उत्पादन कार्यक्षमता सुधारण्याचे उद्दिष्ट ठेवतो, ज्यामुळे मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उत्पादन उद्योगाच्या विकासाला पाठिंबा मिळतो. लिथोग्राफी तंत्रज्ञानाच्या सतत विकासासह, ऑप्टिकल घटकांचे ऑप्टिमायझेशन आणि नवोपक्रम पुढील पिढीच्या चिप्सच्या निर्मितीसाठी अधिक क्षमता प्रदान करतील.
अधिक माहिती आणि तज्ञांच्या सल्ल्यासाठी, आमच्या वेबसाइटला भेट द्याhttps://www.jiujonoptics.com/आमची उत्पादने आणि उपायांबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी.
पोस्ट वेळ: जानेवारी-०२-२०२५
